沈阳科仪

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称 “公司”）创建于1958年，前身为中国科学院沈阳科学仪器研制中心。园区位于辽宁省沈阳市浑南区，占地面积110亩，建筑面积3.5万平方米。多年来，公司专注于高真空、超高真空、超洁净真空技术的研究和发展，是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地，先后组建“国家分子束外延技术试验基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程实验室”等科研平台。

公司主要从事干式真空泵、真空仪器设备的研发、生产和销售，并提供相关技术服务。公司产品主要包括系列罗茨干泵、系列涡旋干泵、大科学装置、真空薄膜仪器设备和新材料制备设备等。公司承担了国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（“02专项”）、“高档数控机床与基础制造装备”（“04”专项）、“国家重点研发计划”等科技专项，并通过自主研发创新实现了国产干式真空泵在集成电路领域的批量应用，打破了欧美及日本企业对同类产品的长期垄断，实现了关键装备的进口替代。先后获得国家科技进步奖六项，中国科学院及省部级科技进步奖二十项，拥有专利七十一项，被认定为国家高新技术企业、国家知识产权优势企业、辽宁省技术创新示范企业、辽宁省创新型中小企业、辽宁省省级企业技术中心、沈阳市科技领航型企业、沈阳市科技小巨人企业等。

公司设立有2个全资子公司——上海上凯仪真空技术有限公司、中科仪（南通）半导体设备有限责任公司；1个分公司——中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司上海分公司。